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第三百七十四章 草根春色

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这几种机械能够成功研制出来,得益于安美森与阿斯麦成功收购了SVG公司。

SVG作为光刻设备制造商,它的机械制造水平绝对处于蓝星顶流的那一批,对加工硅晶片也有相当雄厚的技术储备。

在收购SVG时,阿斯麦提出,鉴于属地管理原则,建议由安美森公司负责SVG的生产环节的管理,并开拓山姆国内的光刻机市场,阿斯麦侧重于组织SVG的研发机构和人员,进行相关设备的攻关。

为啥把生产交给安美森?

因为根据收购协议,SVG的全部员工在一年内不得被辞退,即使生产中断也要保证他们的基本工资,这部分开支每年大概1.2亿刀,连带其它日常开支每年的负担超过1.5亿刀。

机器的数控和机电部分则由翟华完成。

它的性能非常先进,可以对900毫米长度的硅棒进行切割,根据设定,能够切割6英寸、8英寸、12英寸的半导体级硅棒。

在此基础上,还将进一步研制DH045B型硅片切割机,B型机将用来切割太阳能级单晶硅棒。

用这台机器切割出来的硅片,厚度在0.35毫米左右,线损不超过0.3毫米,硅片表面损伤小,后续打磨更容易。

机器使用的零部件,除了部分测量和传感设备外,全部由东华完成零部件的设计与开发,国产化率超过90%。

把生产推给安美森,就意味着安美森负责员工开支。

对此,安德烈与陈立东协商后,没有与阿斯麦讨价还价,不过安美森提出意见是,SVG的科研机构必须留在三藩市,科研人员大部分时间也会在本土,阿斯麦负责安排研发项目,督导研发进度。

这个也符合SVG大部分工程师的意愿,阿斯麦也没有推辞。

阿斯麦获得了SVG多年来沉淀的技术资料,拥有了上千项技术专利,以及进入山姆国参与EUV联盟的入场券,并成功的将负担甩给了安美森,这也算是一种胜利。

张保东参与开发的则是硅片研磨。

研磨设备就是一台大型卧式圆台磨床,可以放多张硅晶片。

抛光设备,则是化学机械抛光机,化学机械抛光,简称CMP。

CMP的机械结构并不复杂,大致由循环泵、抛光液池、过滤磁环、抛光机、工件台、抛光垫、抛光盘、回收箱等十几个部件组成。

体现它的性能的是设备的稳定性,高精度和平整度,以确保加工出来的硅片呈现为完美的镜面。

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